非標(biāo)陶瓷件都包括哪些,各有什么作用?
非標(biāo)陶瓷件都包括哪些,各有什么作用?非標(biāo)陶瓷件有陶瓷螺絲、陶瓷螺母、陶瓷高壓帽、陶瓷螺帽、陶瓷棒等。
陶瓷棒:
因各個(gè)客戶機(jī)臺(tái)使用上的不同,因此會(huì)延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行生產(chǎn)。
陶瓷螺絲
半導(dǎo)體以及光電業(yè)機(jī)臺(tái)設(shè)備因會(huì)需使用酸堿性較高的腐蝕性化學(xué)藥劑,機(jī)臺(tái)內(nèi)使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸堿腐蝕,故許多機(jī)臺(tái)內(nèi)的螺絲都采用陶瓷螺絲。
聚焦環(huán)
主要用在半導(dǎo)體以及光電業(yè)蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備,所以機(jī)臺(tái)亦長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸,故此零件大部分廠商會(huì)使用陶瓷或是石英,石英部分較陶瓷不耐碰撞,石英碰撞后容易造成表免剝落狀態(tài),上機(jī)會(huì)造成問題。故目前所知采用陶瓷的廠商已經(jīng)越來越多。
注入器
在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備中扮演著化學(xué)氣體輸出入的角色,因?yàn)樗L(zhǎng)時(shí)間都需接觸化學(xué)氣體,故他必須要有耐酸堿耐腐蝕的功能,以免因?yàn)樗母g造成機(jī)臺(tái)設(shè)備的損傷。工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸堿剛好適合使用。
上下保護(hù)環(huán)
陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)內(nèi)保護(hù)環(huán)防止雜訊干擾使用,因機(jī)臺(tái)所需的尺寸大小不同,尺寸部分也會(huì)因此不同。這個(gè)部分皆可根據(jù)各戶的需求進(jìn)行生產(chǎn)。
機(jī)械手臂
因半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)常使用化學(xué)藥劑,機(jī)臺(tái)設(shè)備所生產(chǎn)之產(chǎn)品又必須要可以轉(zhuǎn)送下一站別,故有了機(jī)械手臂這項(xiàng)產(chǎn)品。為了避免機(jī)臺(tái)內(nèi)的化學(xué)藥劑對(duì)機(jī)械手臂產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),許多廠商已經(jīng)開始改用陶瓷所生產(chǎn)的機(jī)械手臂。
鐘罩
會(huì)用在反應(yīng)器系統(tǒng)內(nèi),且電漿或是化學(xué)氣體有時(shí)會(huì)在此停留,故在鐘罩的材質(zhì)使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕,因此目前有許多半導(dǎo)體設(shè)備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質(zhì),鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質(zhì)。或本司金屬鐘罩可做陶瓷表面處理。
壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機(jī)臺(tái)設(shè)備中,長(zhǎng)期會(huì)接觸化學(xué)藥劑,陶瓷材質(zhì)可避免長(zhǎng)期接觸化學(xué)藥劑產(chǎn)生腐蝕的現(xiàn)象。
陶瓷長(zhǎng)板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備,機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸,中間孔洞部分是需鎖螺絲,所以它的材質(zhì)多數(shù)必須考量可耐酸堿,抗腐蝕,故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質(zhì)。因應(yīng)機(jī)臺(tái)的需求會(huì)產(chǎn)生很多不一樣型式,故我們樣式的陶瓷陶瓷長(zhǎng)板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務(wù),可配合生產(chǎn)各式陶瓷或金屬長(zhǎng)板陶瓷表面處理。
陶瓷絕緣體/防護(hù)蓋
會(huì)用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備,機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸,因配合機(jī)臺(tái)制程別大小不同,如尺寸較小可做成一體成形,如此寸較大則會(huì)制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。
天板
用于LCD蝕刻機(jī)臺(tái)設(shè)備,機(jī)臺(tái)需長(zhǎng)期與化學(xué)藥劑接觸,天板的大小會(huì)因?yàn)樵O(shè)備的不同而有所不同,這邊可以配合客戶需求進(jìn)行各種尺寸規(guī)格的生產(chǎn)。